所以不管是佳能還是尼康生產(chǎn)的光刻機(jī)，大多的部件都是本國(guó)公司生產(chǎn)，而且各專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域還都算是比較領(lǐng)先的。

    這次葉順親自帶隊(duì)，就對(duì)光源、光刻膠、掩光罩、半導(dǎo)體生產(chǎn)用特殊氣體、電子級(jí)硅晶圓等諸多領(lǐng)域，只要是在這次金融危機(jī)中，受到波及的公司進(jìn)行了約談。

    其中就包括JSR、SUm、凸版印刷、Airater、栗田工業(yè)、小松研究所，并取得了一定的成績(jī)。

    反正徐教授對(duì)此是非常興奮的，一直都在跟李皓解釋?zhuān)F(xiàn)在他們生產(chǎn)的光刻機(jī)主要就是卡在了光源上。

    如果能順利拿下小松研究所的技術(shù)，那么他們就可以保證，在明年年底前，生產(chǎn)出193納米的光刻機(jī)，將極限工藝遞進(jìn)到90nm，晶圓尺寸升級(jí)到12英寸。

    這已經(jīng)基本達(dá)到了國(guó)際的先進(jìn)水平，畢竟雖然ASmL公司早

    在1989年，就已經(jīng)生產(chǎn)出第一臺(tái)193納米的光刻機(jī)。

    可之后也只是在極限工藝上做到了進(jìn)步，在前幾年將極限工藝做到了65nm。

    畢竟在真實(shí)歷史上，光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)在產(chǎn)業(yè)在193nm波長(zhǎng)上卡了將近20年！

    如何將工藝跨入到40nm工藝，成為了阻擋在所有半導(dǎo)體廠(chǎng)商門(mén)口的攔路虎。

    直到2002年，浸入式光刻技術(shù)的出現(xiàn)，將原先鏡頭與光刻膠之間的介質(zhì)從空氣換成了液體，從而利用光通過(guò)液體介質(zhì)后光源波長(zhǎng)縮短達(dá)成了提高分辨率的要求。

    至于真正量產(chǎn)，那就還要靠后，一直到2007年蔡司公司推出的Starlith1900i，成為了第一款達(dá)到38納米極限分辨率的浸沒(méi)式光學(xué)器件，ASmL公司繼而才生產(chǎn)出跨越式的光刻機(jī)來(lái)。

    而且這項(xiàng)技術(shù)最大的好處就是，其利用的還是原來(lái)的193nm干式光刻技術(shù)平臺(tái)，只不過(guò)是單純的介質(zhì)改變，其他的技術(shù)應(yīng)用并沒(méi)有太多改動(dòng)，所以比起一項(xiàng)嶄新的技術(shù)，更能讓客戶(hù)接受。

    因?yàn)槔铕┑奶崆爸更c(diǎn)，徐教授帶領(lǐng)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，早在去年就已經(jīng)開(kāi)始進(jìn)行這方面的研究。

    李皓就是要利用這停滯的時(shí)間，來(lái)給國(guó)產(chǎn)的光刻機(jī)爭(zhēng)取時(shí)間。

    當(dāng)然，李皓也清楚的明白，徐教授口中的生產(chǎn)，只是實(shí)驗(yàn)室里面的成績(jī)。

    而且這還是提前使用了浸入式光刻技術(shù)的緣故，真要論起在干式光刻機(jī)上的技術(shù)，實(shí)際上徐教授他們比起ASmL，還是要差上一些的。

    并且從實(shí)驗(yàn)機(jī)到完全量產(chǎn)，還有很長(zhǎng)的一斷路需要走，但是李皓對(duì)此已經(jīng)很欣慰了。

    畢竟比起歷史上同時(shí)代的空白處境，此時(shí)的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)，才是真的有了和世界其他公司對(duì)陣的希望，也不算是枉費(fèi)李皓大筆投入進(jìn)去的研究經(jīng)費(fèi)。

    所以李皓也是拍著胸脯和徐教授承諾，一定會(huì)支持到底，就是砸鍋賣(mài)鐵也會(huì)把原定計(jì)劃給完成下來(lái)。

    好不容易給徐教授說(shuō)的心血澎湃，把他給忽悠走后，李皓才和葉順聊起了其中的困難。

    雖然因?yàn)榇蟓h(huán)境不好，還有日本光刻機(jī)市場(chǎng)被搶的緣故，讓它們有意向?qū)ν獬鍪奂夹g(shù)。

    可是這個(gè)要價(jià)卻是真的不便宜，要完全達(dá)到原先的計(jì)劃，之前準(zhǔn)備的資金還真的未必足夠。